|
Модель прибора
|
IntoM OP300
|
|
Габариты прибора
|
(1000X900X1500) мм
|
|
Вес
|
< 500 кг
|
|
Источник света
|
Белый свет LED
|
|
Система изображения
|
1024X1024
|
|
Объективная линза
|
10X,(2.5X,5X, 20X,50X,100X)
|
|
Оптический ZOOM
|
0.5X, (0.75X , 1X , 0.375X )
|
|
Стандартное поле обзора
|
0.98X0.98мм
|
|
Турели для объективов
|
моторизованная турель: 5 объективов
|
|
XY перемещающаяся платформа
|
Размер
|
450X450мм
|
|
Диапазон перемещения
|
300X300мм
|
|
Нагрузка
|
10кг
|
|
Способ управления
|
(моторизированный)
|
|
Настройка наклона
|
±6°,моторизированный
|
|
Фокус оси Z
|
Ход
|
100мм
|
|
Способ управления
|
моторизированный
|
|
Диапазон сканирования в направлении Z
|
10мм
|
|
Разрешение в направлении Z
|
0.1нм
|
|
Измеримый коэффициент отражения образца
|
0.05%-100%
|
|
Повторяемость RMS шероховатости
|
0.005нм
|
|
Измерение шага
|
Точность
|
0.3%
|
|
Повторяемость
|
0.08% 1σ
|
|
Требования к рабочей среде
|
|
1
|
Рабочая среда: нет мощного магнитного поля, нет окисляющей среды.
|
4
|
Вибрация окружающей среды: VC-C или лучше
|
|
2
|
Рабочая температура: 15°С~30°С, температурный градиент 2°С/60 мин
|
5
|
Источник воздуха с виброизоляцией: источник чистого воздуха,
0.8 Mpa регулирование давления источника чистого воздуха, обезжиривание, осушение, диаметр воздушной трубы 6 мм (опционально)
|
|
3
|
Относительная влажность: 5–95 %RH, без конденсации влаги.
|
6
|
Источник питания: 330 Вт
|
|
Прочие требования
|
|
1
|
Источник света не следует держать в ярком режиме в течение длительного времени.
|
2
|
Не шатайте прибор руками во время измерения.
|
Печать/PDF