Оптический профилометр IntoM OP100

Интерференционный объектив

Линзы с разным увеличением подходят для образцов с различным типом поверхности: от ультрагладкой до шероховатой.

Стенд для вакуумной адсорбции

Стенд для вакуумной адсорбции, предназначенный для полупроводниковых пластин, гарантирует, что на образцы не влияют слабые возмущения воздушного потока в воздухе во время процесса измерения

Двуканальная система виброизоляции и воздушной флотации

Двухканальная система виброизоляции и воздушной флотации, которая напрямую наполняет воздухом внешний источник газа и устройство для повышения давления, может эффективно изолировать вибрационный шум, исходящий от земли

Изоляция звуковой вибрации

Корпус измерительного прибора и механизм внутреннего движения имеют раздельные конструкции, что способствует эффективной изоляции передачи звуковой вибрации

Устройство настройки уровня

Наклоните ручку регулировки, чтобы отрегулировать ширину полосы и повысить точность реконструкции 3D-изображений

Удобный рычаг управления

Имеет эргономичный дизайн, включает  автоматическое управление трехосным XYZ перемещением и скоростью вала, а также яркостью источника света. Оснащен клавишей аварийной остановки

Увеличение объектива

2.5x

5x

10x

20x

50x

100x

Числовая апертура

0.075

0.13

0.3

0.4

0.55

0.7

Оптическое разрешение при 550 нм (мкм)

3.7

2.1

0.92

0.69

0.5

0.4

Глубина резкости (мкм)

48.6

16.2

3.04

1.71

0.9

0.56

Рабочее расстояние (мм)

10.3

9.3

7.04

4.7

3.7

2.0

Поле обзора

H x V (мм)

Система изобра- жения 1024×1024

0.5x

3.84×3.84

1.92×1.92

0.96×0.96

0.48×0.48

0.192×0.192

0.096×0.096

0.75x

2.56×2.56

1.28×1.28

0.64×0.64

0.32×0.32

0.128×0.128

0.064×0.064

1x

1.92×1.92

0.96×0.96

0.48×0.48

0.24×0.24

0.096×0.096

0.048×0.048